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LG于Nature發布Micro LED新轉移方法,助力大批量生產

5月3日,韓國 LG電子(LG Electronics)Wonjae Chang, Jungsub Kim,Jeong Soo Lee等,在Nature上發文,提出了一種基于流體自組裝(FSA)技術的新轉移方法,稱為磁力輔助介電泳自組裝技術(MDSAT),它結合了磁力和介電泳(DEP)力,在15分鐘內,實現了同時的紅色,綠色和藍色(RGB) LED轉移,轉移良率為 99.99%。

與有機發光二極管 (OLED) 顯示器相比,Micro LED 顯示器具有多種優勢,包括長壽命和高亮度,因此作為下一代顯示器一直備受關注。Micro LED 技術正在商業化用于大屏幕顯示器,例如數字標牌,并且正在針對其他應用開展積極的研發計劃,例如增強現實、柔性顯示器和生物成像。

然而,轉移技術存在重大障礙,如果需要第 10 代以上(2,940 × 3,370 mm 2) 玻璃尺寸獲得高吞吐量、高良率的商業化,那么 MicroLED 才能進入主流產品市場并與液晶顯示器和 OLED 顯示器競爭。

該報告中的磁力輔助介電泳自組裝技術(MDSAT)即是通過在Micro LED 中嵌入鐵磁材料鎳,控制整個運動,并通過施加以受體孔為中心的局部 DEP 力,這些 Micro LED 被有效地捕獲并組裝在受體位點。此外,通過 Micro LED 和受體之間的形狀匹配,展示了 RGB LED 的并行組裝。

最后,還制造了發光面板,顯示出了無損傷轉移特性和均勻RGB電致發光發射。研究證明了,磁力輔助介電電泳自組裝技術MDSAT方法,有望成為有力的轉移技術,用以實現Micro LED主流商業產品大批量生產。

■ 報告部分內容

圖1: 磁力輔助介電電泳自組裝技術magnetic-force-assisted dielectrophoretic self-assembly technology,MDSAT流體裝配過程示意圖,以及根據COMSOL模擬計算的電泳Dielectrophoresis,DEP和磁力分布。

圖2:電泳DEP力,與微發光二極管顯示材料Micro Light Emitting Diode,MicroLED組裝行為和轉移屈服力的關系。

圖3:形狀失配缺陷的顯微鏡圖像和示意圖,以及作為受體孔高度函數的電泳DEP力和轉移屈服的變化。

圖4:無源矩陣微發光二極管MicroLED面板的圖像,I–V特性和RGB光譜。

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